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上海交通大学承担的准LIGA技术及其运用

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来源: 作者: 2019-05-17 00:37:46

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日前,由上海交通大学承当的“准LIGA技术及其应用研究”课题获得突破。该课题组开发出了三种多层复杂三维微结构的准LIGA技术新工艺,获得了含有三层微结构、总厚度大于1.4 mm的异型纺丝喷嘴。通过对该三种工艺中国城市:哪里好骑车?
的优缺点进行比较,得出了三种工艺的运用范围。运用准LIGA技术多层复杂三维微结构加工工艺制备出了异型纺丝喷嘴、镍双层微齿轮模具和集成探卡;应用准LIGA技术可动微结构一体化加工工艺制备出了菲涅尔透镜和光衰减器,运用于光学平台中。

准LIGA技术采用厚胶紫外光刻、模具电铸和微复制工艺制备高深宽比金属和塑料微结构,具有成本低、批量大和重复性好等优点,国内外多家研究机构在此技术上都投入了大量精力。该课题组已申请国家发明专利2项,发表或被录用论文6篇,并用准LIGA技术为国内多家单位进行了MEMS器件的研发。MEMS惯性开关是一种具有重要运用前景的微执行器,课题组对MEMS惯性开关及其相干器件进行了设计、加工和性能测试,用有限元分析软件对MEMS惯性开关中的微弹簧的形状和几何参数进行了优化,开发出用于微弹簧力学性能测试的装置,研制出了MEMS惯性开关原理样机。

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